* Le responderemos en un plazo de 24 horas.
* Le responderemos en un plazo de 24 horas.
Introducción de la máquina:
CMC-800 es una máquina de limpieza profesional de módulos de cámara para los productos de la cámara, como obleas, CMOS, soportes y otros tipos de limpieza de polvo de superficies.
Características de la máquina:
1.El polvo de la superficie del módulo de clase de cámara, impurezas para máquinas de limpieza;
2.Cuerpo cerrado de integración de acero inoxidable espejo, sin contaminación del entorno de trabajo, adecuado para el uso de los requisitos de sala limpia;
3.puede reemplazar la placa de limpieza limpiando una variedad de productos, limpiando discos por producto personalizado;
Control automático 4.PLC, fácil de operar;
5.puerta de entrada transparente a prueba de explosiones, operación segura, fácil de observar;
6. toda la pantalla del instrumento del sistema, en cualquier momento para controlar la situación de limpieza;
7.El uso de dos líquidos de limpieza, limpieza de alta precisión, cero daños al producto, el consumo de agua pura es mínimo;
8.barra de rociado giratoria, para evitar productos de contaminación secundaria;
9.Equipado con dispositivo de eliminación de estática, dispositivo de calentamiento de la pared de la cavidad, limpieza auxiliar para lograr los mejores resultados;
10.Equipado con 2 sistemas de filtración de aire, aire comprimido en línea con ISO8573, 1 estándar;
11.cuerpo compacto, tamaño reducido;
12.Uso total de limpieza con agua ultrapura, compatible con RoHS.
Especificaciones de la máquina:
Dimensiones del equipo |
880 mm(L)× 960 mm(W)× 1880 mm(H) |
|
Especificaciones de la placa de limpieza |
Personalizado (diámetro del disco de limpieza <ø550mm) |
|
Método de limpieza |
Limpieza de dos fluidos |
|
Camino seco |
Secado centrífugo de alta velocidad |
|
fuente de alimentación |
AC380V 50 HZ |
|
Poder total |
7KW |
|
el consumo de energía |
Al limpiar: 3.5kw / h |
En espera: 1kw / h |
Impulsar caballos de fuerza |
3HP |
|
Filtrado ambiental |
0.3μm;99,999% |
|
Filtro de aire |
1 μm × 1;0,01 μm × 1 |
|
Velocidad centrífuga |
100-1500 RPM |
|
Consumo de agua pura |
0-7L / min |
|
Consumo de gas |
10-30m³ / H |
|
Presión de limpieza |
Presión de líquido: 3-8Kgf / cm² Presión de aire: 0.2-0.5Mpa |
|
Suministro de agua DI |
Flujo:> 7LPM Resistividad:> 17MΩ |
|
Suministro de aire |
Presión: 0.45-0.7Mpa; flujo:> 30m ³ / H (la limpieza cumple con los requisitos de limpieza) |
|
Diámetro de entrada de agua pura |
Manguera de Ø12mm o rosca interna PT1 / 2 " |
|
Diámetro de entrada de aire |
Tráquea de Ø12mm |
|
Diámetro de salida de desagüe |
PT 1 "rosca interna |
|
Diámetro de salida |
4 "× 2 (es necesario reforzar la ventilación, velocidad del viento superior a 3 m / seg) |
|
Peso neto de la máquina |
450KG |