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substrat cible | MAX. L150×L150 (mm) |
MIN. L50×L50 (mm) | |
hauteur de pièce | Supérieur 10,15,20,25mm |
Inférieur 10,15,20,25mm | |
Table de travail | 3 millimètres |
Source d'alimentation en gaz N2 | Au-dessus de 99,99 % 0,4 ~ 0,7 Mpa |
Au-dessus de 150NL/min | |
Hauteur de transport du substrat (ligne de laminage) | 900±20mm |
Dimensions | L1210×L2200※1×H1370※2 (mm) |
Poids total | Environ 600 kg |
Vitesse de livraison | 0.1~0.7m/minute |