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Spécifications de la machine de four à refusion d'azote Tamura GNV51-7610PM(L) :
| Dimensions | L1550×L7600×H1550 |
| source de courant | AC380V triphasé à quatre fils |
| air comprimé | rien |
| Longueur de la zone de chauffage | 4.42m |
| longueur de la zone de refroidissement | 1,48 m (dont 0,3 m de récupération de froid) |
| consommation d'énergie | Puissance de démarrage 76KVA, puissance stable 20KVA (sans charge) |
| consommation d'azote | Au-dessus de 400NL/min, au-dessus de 99,99 %, au-dessus de 0,4-0,7 MPa |
| Parallélisme d'orbite | ±1mm |
| Conception anti-vibration de la piste | Excellent (l'ensemble est divisé en 4 sections, et il y a des plaques de guidage à l'entrée et à la sortie pour faciliter l'entrée en douceur du substrat dans le four et une décharge en douceur) |
| conception de piste | Dispositif de réglage manuel de la largeur (OP : le réglage automatique de la largeur peut être amélioré) |
| capacité de transfert de chaleur | Excellent (capacité de chauffage élevée, forte capacité de cycle thermique) |
| plage de vitesse | 0.5-2.0m/min |
| Précision de la régulation de la température | ± 1℃ |
| commande électrique | Commande centralisée, CD-ROM, commutation automatique, minuterie, alarme |
| Accessoires optionnels | Catalyseur, alimentation sans interruption (UPS), compteur de concentration d'O2, dispositif anti-flexion, réglage automatique de la largeur de voie, ajout automatique de lubrifiant, refroidisseur d'eau (externe) |