* Мы ответим вам в течение 24 часов.
* Мы ответим вам в течение 24 часов.
Введение в машину:
CMC-800 - это профессиональная машина для очистки модулей камеры для таких продуктов камеры, как пластины, CMOS, держатели и другие поверхности для очистки пыли.
Характеристики машины:
1. пыль поверхности модуля класса камеры, примеси для чистящих машин;
2. закрытый корпус из нержавеющей стали с зеркалом, отсутствие загрязнения рабочей среды, подходит для использования в чистых помещениях;
3. можно заменить чистящую пластину, очищающую различные продукты, чистящие диски по индивидуальному заказу продукта;
4. автоматическое управление PLC, простое в эксплуатации;
5. прозрачная взрывозащищенная входная дверь, безопасная работа, простота наблюдения;
6. весь системный приборный дисплей, в любое время, чтобы контролировать ситуацию очистки;
7. использование двух жидкостей для очистки, высокая точность очистки, нулевое повреждение продукта, минимальное потребление чистой воды;
8. вращающийся распылитель, чтобы избежать вторичного загрязнения продуктами;
9. оснащен устройством для снятия статического электричества, устройством для обогрева стенок полости, вспомогательной очисткой для достижения наилучших результатов;
10. оснащен 2 системами фильтрации воздуха, сжатым воздухом в соответствии с ISO8573, 1 стандартом;
11. корпус компактный, занимает мало места;
12. Полное использование сверхчистой воды для очистки, соответствует требованиям RoHS.
Технические характеристики машины:
Габаритные размеры оборудования |
880 мм(L)× 960 мм(W)× 1880 мм(ЧАС) |
|
Технические характеристики пластины для очистки |
По индивидуальному заказу (диаметр чистящего диска <ø550 мм) |
|
Метод очистки |
Двухфлюидное очищение |
|
Сухой путь |
Высокоскоростная центробежная сушка |
|
источник питания |
AC380V 50 Гц |
|
Суммарная мощность |
7кВт |
|
потребляемая мощность |
При очистке: 3,5 кВт / ч |
В режиме ожидания: 1 кВт / ч |
Мощность привода |
3 л.с. |
|
Фильтрация окружающей среды |
0,3 мкм;99,999% |
|
Воздушный фильтр |
1 мкм × 1;0,01 мкм × 1 |
|
Центробежная скорость |
100-1500 об / мин |
|
Расход чистой воды |
0-7 л / мин |
|
Расход газа |
10-30 м³ / ч |
|
Давление очистки |
Давление жидкости: 3-8 кгс / см² Давление воздуха: 0,2-0,5 МПа |
|
DI водоснабжение |
Расход:> 7 л / мин Удельное сопротивление:> 17 МОм |
|
Подача воздуха |
Давление: 0,45-0,7 МПа; расход:> 30 м³ / ч (чистота соответствует требованиям очистки) |
|
Диаметр входа чистой воды |
Шланг Ø12 мм или внутренняя резьба PT1 / 2 " |
|
Диаметр воздухозаборника |
Ø12 мм трахея |
|
Диаметр дренажного выхода |
PT 1 "внутренняя резьба |
|
Диаметр выхода |
4 дюйма × 2 (необходимо усилить вентиляцию, скорость ветра более 3 м / сек) |
|
Вес нетто машины |
450 кг |